招标名称：轮廓测量仪

轮廓测量仪主要技术要求

1、测量原理：垂直方向：触针法，电感传感器；

　　　　　 　水平方向：直线光栅；

2、测量范围：垂直20mm，水平100mm；

3、测量精度：垂直±0.2%，水平±0.004%；

4、垂直分辨力：0.06μm/4mm，0.3μm/20mm；

5、水平分辨力：1μm ；

6、测量参数：垂直距离、水平距离、两直线夹角、圆弧半径、

   圆心-直线距离、圆心-圆心距离、直线度、圆度等形位公差参数；

7、图形放大倍率：最大10000倍无级连续放大；

8、驱动速度：0.1，0.2，0.3，0.4，0.5，0.8，1.0mm/s；

9、返回速度：1.5mm/s；

10、基准导轨的直线性：1μm/100mm；

11、立柱结构：快慢速机动升降系统，自动对准零位；

12、立柱垂直测量高度：260mm；

13、工作底台：460mm×720mm大理石平台；

14、传感器测杆长：230mm；

15、测针长度：22mm；

16、针尖角度：11°；

17、针尖半径：25μm；

18、测力：0.02-0.06N；

19、传感器滑行角度：上升角≤77°，下降角≤88°。

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